Analiza składników EDS
Wprowadzenie projektu
Energetyczna spektrometria dispersywna (EDS) jest techniką analityczną stosowaną do analizy i charakterystyki próbek.Jest zwykle stosowany w połączeniu ze skanującym mikroskopem elektronicznym i mikroskopem elektronicznym transmisyjnym do analizy typów i zawartości pierwiastków w mikroregionie materiału: charakterystyczne promieniowanie rentgenowskie wytwarzane podczas interakcji wiązki elektronów z materiałem służy do uzyskania informacji o składzie chemicznym próbki,i większość pierwiastków (Be4-PU94) można wykryć jakościowo i pół Ilościowo, a zanieczyszczenia powierzchniowe można analizować.

Laboratorium analizy składników

Zasada eksperymentalna
W nowoczesnych mikroskopach elektronicznych skanujących i mikroskopach elektronicznych przesyłowych, spektrometr rozpraszający energię (EDS) jest ważnym akcesorium.Podzielą zestaw systemów optycznych z główną maszyną, i może przeprowadzać analizę punktową, analizę powierzchniową i analizę liniową składu chemicznego zainteresowanych części materiału.

Zalety EDS
(1) Szybka szybkość analizy i wysoka wydajność.Może jednocześnie przeprowadzać szybką analizę jakościową i ilościową wszystkich pierwiastków o liczbie atomowej od 11 do 92 (nawet elementów ultralekkich, takich jak C, N i O);
(2) Dobra stabilność i dobra powtarzalność;
(3) Może być stosowany do analizy składników nierównych powierzchni (łamania itp.);
(4) Można mierzyć segregację komponentów w materiałach itp.

Zasada działania EDS
The probe receives characteristic X-ray signals → converts characteristic X-ray light signals into electrical pulse signals with different heights → amplifier amplifies the signals → multi-channel pulse analyzer encodes pulse signals representing X-rays of different energies (wavelengths) into different channels according to their heights → displays spectrum lines on the fluorescent screen → uses computers for qualitative and quantitative calculations.

Struktura EDS
1Detektor: przekształca sygnały fotonowe promieniowania rentgenowskiego w sygnały impulsowe, a wysokość impulsu jest proporcjonalna do energii fotonów promieniowania rentgenowskiego.

2Wzmacniacz: wzmacnia sygnały impulsowe.

3. Wielokanałowy analizator wysokości impulsu: impulsy są programowane na różne kanały w zależności od ich wysokości, tj.różne charakterystyczne promienie rentgenowskie są rozróżniane według ich energii.

4System przetwarzania i wyświetlania sygnałów: spektrum identyfikacji, obliczenia jakościowe i ilościowe; rejestracja wyników analizy.

Analiza EDS
1Analiza jakościowa: szczyty w spektrum EDS reprezentują elementy obecne w próbce.identyfikacja zawartych elementówJeżeli nie można poprawnie zidentyfikować rodzaju elementu, dokładność końcowej analizy ilościowej jest bez znaczenia.ale do określania elementów nieistotnych lub śladowych, tylko poprzez starannie zajmowanie się interferencją linii widmowych, zniekształceniem i systemem linii widmowych każdego elementu może być dokładny.Analiza jakościowa dzieli się na automatyczną i ręczną analizę jakościową.Automatyczna analiza jakościowa określa pozycję szczytu w zależności od pozycji energii.Wystarczy kliknąć przycisk "Operacja/Analiza jakościowa", aby wyświetlić odpowiedni symbol elementu w każdej pozycji szczytowej widmaAutomatyczna analiza jakościowa ma szybką prędkość rozpoznawania, ale ze względu na poważne zakłócenia pokrywania się szczytów widmowych wystąpią pewne błędy.

2. Analiza ilościowa: Analiza ilościowa polega na uzyskaniu stężenia różnych pierwiastków tworzących materiał próbkowy poprzez intensywność promieniowania rentgenowskiego.ludzie poszukiwali i zaproponowali metodę pomiaru stosunku intensywności nieznanych próbek i próbek standardowychNajczęściej stosowana technologia korekty ilościowej to korekta ZAF.

3Analiza rozkładu powierzchniowego pierwiastków: w większości przypadków wiązka elektronów jest strzelana tylko w określonym punkcie próbki w celu uzyskania widma promieniowania rentgenowskiego i zawartości składników tego punktu,która nazywa się metodą analizy punktowejW nowoczesnych nowych SEM można uzyskać większość różnych stanów rozkładu składników określonego obszaru próbki, tj. za pomocą urządzenia obserwacyjnego skanującego,wiązka elektronów jest skanowana dwuwymiarowo na próbce, a intensywność jego charakterystycznych promieni rentgenowych jest mierzona,tak, aby zmiana jasności odpowiadająca tej intensywności była zsynchronizowana z sygnałem skanowania i wyświetlana na katodzie CRT, otrzymuje się dwuwymiarowy obraz rozkładu charakterystycznej intensywności promieniowania rentgenowskiego.która jest bardzo wygodną metodą pomiaru dwuwymiarowego rozmieszczenia elementów.